LUXEL Corporation
LUXELは世界屈指の金属・高分子薄膜フィルターメーカーです。 1973年創業以来、EUVや軟X線領域用バンドパスフィルターとして用いられる最高品質の薄膜を製造し、X線天文衛星等の宇宙科学プロジェクトをはじめ、EUVリソグラフィや、Ｘ線分析科学等、先端技術開発の分野に於いて多数の実績を重ねてきました。お客様のご用途に合わせたカスタムバンドパスフィルタを設計し、ご提供致します。
Address：P.O. Box 1879
60 Saltspring Dr.
Friday Harbor, WA 98250 USA
WEB：https://luxel.com/
抵抗加熱蒸着源
LUXELが提供する抵抗加熱型蒸発源は、設置・操作が簡単で安定した真空蒸着が行えます。
ルツボ、ライナーのオプションも複数取り揃えていますので、お客様のニーズに合わせて、幅広い材料にご使用頂けます。
研究開発用途に最適化された、コンパクトで機能的なデザインです。
XUV・EUV領域用 薄膜フィルター
LUXEL CORPORATION (米国 ワシントン州)が提供する、数十ナノメーター厚の金属薄膜、高分子薄膜フィルターは、Ｘ線天文観測衛星を中心に、数々のプロジェクトに貢献した実績と信頼性に裏付けられた高い性能と品質を誇ります。
近年では、EUVリソグラフィ関連装置向けフィルターのサプライヤーとして、半導体分野にも貢献しています。
