⇒ナノフォーカスX線源　Nano Tube N3

Excillum社NanoTube N3は、高度な電子光学系と最新のタングステンダイヤモンド透過ターゲット技術が用いられており、自動電子線焦点調整と非点収差補正により、常に真円度の高い極めて小さなビームスポットが得ることが可能です。全設定電圧において自動的に業界最高レベルのLine/Space実分解能150nmを達成。さらに、最新の冷却及び熱設計により、長時間露出でも高い位置安定性を備えています。

⇒液体金属ジェットアノードX線源　MetalJet

Excillum社 MetalJetは、液体金属アノードMetalJet技術を用いることで従来のX線管より格段に高い輝度と、µオーダーの微小スポットサイズを実現した世界で最も明るいマイクロフォーカスX線源です。スポットの形状安定性、位置安定性にも優れ、長時間連続稼働でも信頼性の高い測定が可能です。