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LUXEL社の抵抗加熱蒸着源・パワーコントローラ

真空蒸着用蒸着源 有機用蒸着源

LUXEL社の抵抗加熱蒸着源・パワーコントローラ

LUXEL(ラクセル・米)が提供する抵抗加熱型蒸発源は、設置・操作が簡単で安定した真空蒸着が行えます。ルツボ、ライナー、コントローラなどオプションも複数取り揃えていますので、お客様のニーズに合わせて、幅広い材料にご使用頂けます。研究開発用途に最適化された、コンパクトで機能的なデザインです。

LUXEL社の抵抗加熱蒸着源・パワーコントローラ特性

◯高純度金属、セラミックで構成
◯ルツボ+Wフィラメントによる加熱
◯回転式ロックカバーでルツボの出し入れが容易
◯安定したフラックスで均一なコーティングが可能
◯有機物の低温蒸着に最適化されたOLEDもラインナップ


LUXEL社の抵抗加熱蒸着源・パワーコントローラ特性
RADAKT・U
  RADAK T RADAK U
高 さ 66mm 99.5mm
直 径 44.5mm 57mm
標準ルツボ容量 2cc 15cc
チャージ容量 1cc 10cc
温度範囲 0〜1500℃ 0〜1500℃
熱電対タイプ K/C K/C
OLEDT・U
  OLED T OLED U
高 さ 66mm 99.5mm
直 径 44.5mm 57mm
標準ルツボ容量 2cc 15cc
チャージ容量 1cc 10cc
温度範囲 50〜600℃ 50〜600℃
熱電対タイプ

○ルツボ材質−

アルミナ(RADAK・OLED標準付属)、石英、PBN、ArcコートSS、Organics Evap(有機蒸着用)
○熱電対タイプ− K(Cr・Al) :上限温度 1200℃、
C(W・Re) :上限温度 1500℃

RADAKパワーコントローラIIシリーズ
【機種別機能】
  RADAK
Power Controller II
RADAK
Power Controller II+
RADAK
Power Controller IIP
Eurotherm モデル # 2404 2404 2404
RS 232
オートチューン
アルゴリズム
出力チャネル数 1 1 2*
格納プログラム数 1 4 4
プログラムセグメント数 8 16 16
プログラムリンク  
プログラム選択用パネル    
アナログ入力 1 PV† 1 PV, external control 2 PV, external control
◆ソフトウェア  
‐入力ソースの選択
‐ 熱電対タイプ
‐ Custom linearization profile
‐ All standard RTDs, pyrometers
‐ 電圧、電流入力
ユーザーキャリブレーション
外部コントロール入力  
デジタル I/O   3 input 3 input
リレー出力   2 SPST, 1 SPDT 2 SPST, 1 SPDT
Control schemes simple PID simple PID, external simple PID, external
Eurotherm
コンフィグレーション
設定用ソフトウェアiTools
(オプション)

* 2台の蒸発源の連続コントロール  † PV (Process Variable, 熱電対入力)

【電気系】
入力電力 115Vac / 60Hz 最大10A
出力電力(蒸着源) 0〜40Vac/0〜30A

※詳細はお問合わせ下さい。

LUXEL CORPORATION
ラクセル社 米国 ワシントン州