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Lebedev物理学研究所 X線多層膜ミラー・結像光学系

X線多層膜ミラー 結像光学系


Lebedev物理学研究所 X線多層膜ミラー・結像光学系


LebedevのDr. Artyukov等X線光学研究グループは、多層膜ミラー・結像光学系の研究分野において多くの優れた成果を発表しています。最近では、“carbon window(炭素の窓) ” と称される4.4<λ<5nm 領域に注目し、シュバルツシルド光学系用ミラーの性能向上に取り組んでいます。


X線用オプティクスのコーティング特性

◯材質、周期のフレキシブルな選択
◯高反射率
◯軟X線領域での用途に広く対応



X線用オプティクスのコーティング特性
シュバルツシルド光学系用ミラー
実 例
  ‐ λ:“carbon window” 4.4〜5nm
  ‐ Multilayer coating: Co/C , N=100
  ‐ Magnification:21
  ‐ Numerical aperture:0.21
  ‐ Primary(concave ) mirror / Secondary(convex ) mirror
  ‐ Diameter : 54mm / : 10.5mm
  ‐ Radius of curvature : 100mm / : 35mm

Lebedev物理学研究所 X線多層膜ミラー・結像光学系
↑反射率(2008年8月時点)


X線多層膜ミラー
実 例

Lebedev物理学研究所 X線多層膜ミラー・結像光学系
wavelength, Å
用 途
X線分光、X線イメージング、X線集光光学系、X線プラズマ診断、EUVリソグラフィ 他

Lebedev多層膜ミラー詳細
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P. N. Lebedev Physical Institute, Moscow X-ray Optics Group (MXOG)
レベデフ物理学研究所X線光学研究グループ [ロシア モスクワ]