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製品情報

Lebedev X線多層膜ミラー

Multilayer X-ray mirrors

Material d-spacing
nm
Number of periods Reflectivity
%
Resolution
%
λ
nm
W/Si 1.3-4 100-300 15-75 1-5 0.154
W/Si* 12 30 24 3 23.4
W/B4C 1.7 400 40 0.6 0.154
Cr/Sc 1.5-5 80-200 5-40 0.65-2.6 0.154
W/Sc 1.6-3.0 100-300 25-60 1-3 0.154
Ni/C 3.5-8 60 85-90 4-5 0.154
Cr/C 2-5 40-300 15-60 1-5 0.154
Co/C 2-8 10-300 10-35 0.6-7 4.5
Co/C* 2.25 200 14 0.7 4.5
Mo/B4C 2.4-10 40-250 60-80 1.5-9.5 0.154
Mo/Si 6.5-15 20-40 75-80 5.5-8 0.154
Mo/Si* 6.9 40 65 2.5 13.4
Sc/Si* 21.3 8 50 9 36.5
Sc/Si* 26.7 10 45 12-14 46.9

(*) – Normal incidence mirrors Multilayer coatings with the laterally graded period can be deposited on flat or spherical substrates with the diameter up to 100 mm and the curvature radius > 20mm. The position of the multilayer’s reflectivity peak is fixed with the accuracy ± 0.5 %.

Multilayer X-ray mirrors with enhanced thermal stability

Material d-spacing nm Number of periods Reflectivity (λ= 0.154 nm) % Resolution
%
Ultimate working temperature K
WC/Si 3 150-200 70 2.5 800
Mo2B5/B4C 8.3 40 77 5.2 1400
WSi2/Si 3 150 70 2.3 900
CrB2/C 5 50 65 3.1 1100
MoSi2/Si 8 40 82 6.5 1000

P. N. Lebedev Physical Institute, Moscow X-ray Optics Group (MXOG)
レベデフ物理学研究所X線光学研究グループ [ロシア モスクワ]