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PRO Opto社のEUV/XUV用CCDセンサ

X線イメージング技術用超精密ミラー Aspheric optics Wolter mirror Parabolic mirror

PRO Opto社のEUV/XUV用CCDセンサ

リガクイノベーティブテクノロジーズヨーロッパ(RITE)社製品は、最先端X線光学の代表格です。
設計から製造、テストまで一貫して行う為、非常に滑らかで高い面精度のオプティクスとシステムのインテグレーションが可能です。RITE 光学グループは数十年来、様々なオプティクスの製造技術及び、同分野における数々の革新をもたらしてきました。

ラインナップ

標準ミラー (放物面鏡)
  • 中心エネルギー領域: 8keV
  • 表面コート:Au又はNi
  • 斜入射角: 9.5 mrad (R≧50%)
  • 表面粗さ: Ra≈0.5-2nm
Type L
[mm]
D1
[mm]
D2
[mm]
Z1
[mm]
Zd
[mm]
Divergence
[mrad]
RE_01 50 1.2 1.8 38 300 6
RE_02 26 0.9 1.3 28 300 4
RE_03 26 0.9 1.3 13 600 2
RE_04 26 0.45 0.8 13 150 5
RE_05 26 0.45 0.7 13 250 3
RE_06 26 0.45 0.8 13 300 2.5
RE_07 26 0.50 0.8 13 600 1.3
RP_02 26 0.8 1.2 22 ? ?
RP_03 26 0.45 0.8 14 ? ?

焦点プロファイル、サイズ (FWHM=11.4μm) @ 8 keV
独Humberg、HASYLAB シンクロトロンにて

Wolter Mirror ウォルターミラー (双曲面鏡-放物面鏡)

双曲面鏡と楕円面鏡で構成される、回転対称型光学系です。

用途: 軟X線顕微鏡、軟X線イメージング、望遠鏡

Multi Foil Optics (MFO)

MFOは非常に薄い反射ミラーを複数枚垂直方向に配置したものを、2組並べて構成されるEUV、X線用オプティクスです。

  • 視野角: 最大±60°
  • 厚 み: 30μm〜1mm
  • 開口面積: 3x3mm〜 300mmx300mm
  • 平面、楕円面、放物面、非球面
  • 材質: ガラス、シリコン、金属
  • 表面コート: 金、ニッケル、モリブデン、白金、タングステン等
  • 幾何学構成タイプ: KB ( Kirkpatrick-Baez Optics )、ロブスターアイ

いずれも、ご用途に合わせてパラメータ設定を行います。詳細はお問合わせ下さい。

RITE社 RITE(Rigaku Innovative Technologies Europe s.r.o)
リガクイノベーティブテクノロジーズヨーロッパ社
チェコ共和国 プラハ