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フォトダイオード型式一覧

IRDフォトダイオード型式一覧

シリーズ

 

AXUVシリーズ

AXUVシリーズは、0.0124nm〜190nm/100eV〜50keVのエネルギー範囲を検出。
フォトン、エレクトロン及びX線測定に適した内部量子効率100%のフォトダイオードです。

モデル 特徴 データシート
AXUV100G 受光面積10mmx10mmの大面積タイプ PDF
AXUV20A Φ5.5mm 円形受光部 PDF
AXUV20HS1 円形受光部 Rise Time 2 nsecの高速タイプ PDF
AXUV300C 受光面積331mm2の大面積タイプ PDF
AXUV576C 受光面積576.5mm2の大面積タイプ PDF
AXUV63HS1 円形受光部 Rise Time 2 nsecの高速タイプ PDF
AXUV63HS1-CH センターホール付き PDF
AXUVHS11
SMAコネクタ、超高速Rise Time 700 psec PDF
AXUVHS5 SMAコネクタ、超高速Rise Time 700 psec PDF
AXUVHS6 SSMAコネクタ、超高速Rise Time 50 psec PDF
AXUV100TF030 フィルター蒸着タイプ、検出波長1nm〜12nm PDF
AXUV100TF400 フィルター蒸着タイプ、検出波長18nm〜80nm PDF
AXUV16ELG 16素子アレイタイプ PDF
AXUV20ELG 20素子アレイタイプ PDF
AXUVPS7 4分割エレクトロン検出 PDF
 

SXUVシリーズ

SXUVシリーズは1nm〜190nmのEUV領域に対して安定した感度を有し、表層部には金属ケイ素が用られ耐放射線性が高められています。
13.5nmフォトリソグラフィの用途にも理想的な高フラックス対応ディテクターです。

モデル 特徴 データシート
SXUV100 EUV対応、受光面積10mmx10mmの大面積タイプ PDF
SXUV20C EUV対応、低ノイズタイプ PDF
SXUV20HS1 EUV対応、Rise Time 2 nsecの高速タイプ PDF
SXUV300C EUV対応、331mm2の大面積セラミックパッケージタイプ PDF
SXUV5 EUV対応、円形受光部、応答速度 1 nsecの高速タイプ PDF
SXUVPS4 4分割UV検出 PDF
SXUVPS4C 4分割UV検出 PDF
SXUVTF135 フィルター蒸着タイプ、検出波長12nm〜18nm PDF
SXUVTF135B フィルター蒸着タイプ、検出波長12nm〜18nm、ゼロバイアス PDF
 

UVGシリーズ

UVGシリーズは190nm~400nmのUV領域に対応。
UV-A・UV-B・UV-C レーザーのモニタリング等幅広い用途に適しています。

モデル 特徴 データシート
UVG100 UV対応(190〜400nm)、受光面積10mmx10mmの大面積タイプ PDF
UVG12 UV対応(190〜400nm)、Φ4.1 mm 円形受光部、キャップレス PDF
UVG20C UV対応(190〜400nm)、Φ4.9mm 円形受光部、エレクトロン検出 PDF
UVG20S UV対応(190〜400nm)、Φ5.5mm 円形受光部 PDF
UVG5 UV対応(190〜400nm)、Φ2.5mm 円形受光部、キャップレス PDF
UVG5S UV対応(225〜400nm)、Φ2.5mm 円形受光部 PDF
 

ソケット

モデル 特徴 データシート
AXUV100CS AXUV100, SXUV100, UVG100 対応、 セラミックソケット、2ピン、ピン間隔12.5mm PDF
AXUV16ELCS AXUV16ELG対応、 セラミックソケット、40ピン、ピン間隔2.54mm PDF
AXUV20ACS AXUV20A, AXUV20HS1, SXUV20HS1, UVG20S 対応、
セラミックソケット、2ピン、ピン間隔7.4mm
PDF
AXUV20ELCS AXUV20AELG対応、
セラミックソケット、22ピン、ピン間隔2.54mm
PDF
 

プリアンプ

[クリアパルス社製]
高真空中での使用を想定して設計されアウトガスを抑える部材が用いられています。

モデル 特徴
80310型 AXUV16ELG用プリアンプ、

変換効率:100μA/1V (Rf=10kΩ) 、
入力:+/-1mA 最大、入力周波数:DC〜約1MHz(Rf=10kΩ) 、
出力電圧:0〜+/-10V、出力インピーダンス:50Ω、
電源:+12V 50mA以下・ -12V 50mA以下
8986A型 AXUV20ELG用プリアンプ、

変換効率:100μA/1V (Rf=10kΩ) 、
入力:+/-1mA 最大、入力周波数:DC〜約1MHz(Rf=10kΩ) 、
出力電圧:0〜+/-10V、出力インピーダンス:50Ω、
電源:+12V 50mA以下・ -12V 50mA以下

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