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PRO Opto社のEUV/XUV用CCDセンサ

軟X線 EUV モニタリング 波面計測

PRO Opto社のEUV/XUV用CCDセンサ

ドイツ・ゲッティンゲンに位置する社団法人Laser- Labolatorium Gottingen (LLG)の短波長オプティクス部門で開発されたEUV/XUV用CCDカメラ及びShack-Hartman型の波面センサです。
レーザー伝播特性を研究する現場から生まれた、コンパクトなセンサーです。

CCDカメラ基本仕様
有効視野 9.0mm x 6.7mm (2/3”)
解像度 1392x1040 ピクセル
スペクトルレンジ 1nm-1,100nm
ダイナミックレンジ 14bit
フレームレート 15fps
(2x2 最大30fps までビニング可能)
露光時間 20μs〜500s (自動調整機能付き)
電源端子 IEEE 1394a(FireWire)/USB
対応真空度 UHV (<10-9mbar )
サイズ φ65x25mm
フランジ CF63
用 途 リアルタイムモニタリング、描画 等

レーザープラズマ源 @13.5nm
(パルスXe ガスターゲット)

K-B 光学系により集光した
EUV 焦点 @13.5nm

FEL ビーム(FLASH/Hamburg)
@13.5nm
Shack-Hartmann 型波面センサ

安定性と波面感度に重点を置いたシャックハルトマン型波面センサーです。
蛍光体コーティングされたCCD 素子の正面にはアレイ状の微細なピンホールが配置されており、ビーム強度及び位相の同時モニタリングが可能です。

有効視野 9.0mm x 6.7mm
スペクトルレンジ 1nm – 60nm
ダイナミックレンジ 14bit
Hartman プレート 微細孔φ75μm、250μm ピッチ
傾斜角 ±10°
x/y 軸可動範囲 ±10mm
フランジ CF63
用 途 EUVL プラズマ光源・FEL・HHG ビーム対応
波面計測、リアルタイムアジャストメント 等

※詳細はお問合せ下さい。


ピンホールプレート
 

スポットパターン@λ =1.5nm
LCLS/Stanford

強度プロファイル
 

自由電子レーザーFLASH(DESY/Hamburg)にて13.5nm の波面計測。 光学系の調整前(左)と 調整後(右)
B.Floter, K. Mann, K. Tiedtke et al. NIMA 635, 108-S112 (2011)

RITE社 Laser-Laboratorium Gettingen e.V.
社団法人レーザーラボラトリウム ゲッティンゲン
ドイツ ゲッティンゲン